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1、能谱仪是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜使用。

2、 包括以下几指标： 探头：一般为Si(Li)锂硅半导体探头 探测面积：几平方毫米 分辨率（MnKa）：～133eV 探测元素范围：Be4～U92 使用范围： 高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料分析； 2、金属材料的相分析、成分分析和夹杂物形态成分的鉴定； 3、可对固体材料的表面涂层、镀层进行分析，如：金属化膜表面镀层的检测； 4、金银饰品、宝石首饰的鉴别，考古和文物鉴定，以及刑侦鉴定等领域； 5、进行材料表面微区成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。